一、北方华创:国内硅刻蚀机、PVD龙头,产品丰富加速成长
北方华创是由七星电子和北方微电子战略重组而成,重组前七星电子和北方微电子同隶属于北京电控,而北京电控由北京市电子工业办公室转制而来,是北京市国资委授权的以电子信息产业为主业的国有特大型高科技产业集团。
北方华创由七星电子和北方微电子两家老牌国资电子装备及元器件大厂重组而来,目前拥有半导体设备、真空设备、新能源锂电设备和电子元器件四个业务板块。
2019年北方华创四大业务板块中,半导体装备营收占比最高,达61%;精密元器件紧随其后,占比21%;真空装备和新能源锂电装备分别占15%和3%。
北方华创是承担02专项装备项目最多的单位,先后完成了12英寸28-90nm制程刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、清洗机等设备的技术攻关工作,相关产品已进入产业化阶段。
财报显示,12英寸先进制程刻蚀机、PVD、ALD等集成电路制造设备也在加速研发中。
二、至纯科技:国内高纯工艺龙头,半导体清洗设备值得期待
至纯科技是国内高纯工艺龙头,于2000年在上海成立。公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的设计、制造和安装调试;半导体湿法清洗设备研发、生产和销售。
在国家半导体、电子行业的国产化政策激励下,公司组建了核心研发团队,与国家重点院校和实验室合作,并设置了院士工作站提升研发能力。最终通过子公司至微半导体有限公司完成了槽式湿法清洗设备和单片式湿法清洗设备产品的研发和制造。
目前,公司产品主要包括高纯气化装备、半导体清洗机、超净电子材料、生物制药系统及设备等。按照下游客户所处的领域,公司业务可分为半导体、光伏、LED 和医药四大部分,其中半导体业务占比在一半以上。
目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户,用户有中芯国际、华虹、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士,三星,台积电,力晶等等,是下游行业的领先者。
半导体湿法设备领域如中芯国际、北京燕东、TI、华润等;光传感领域如国家电网、南方电网、中国石油、华为、霍尼韦尔等;光通信领域,公司与石家庄麦特达电子科技有限公司、瑞谷光网、储翰科技等知名企业建立了良好的合作关系。
三、精测电子:国内面板测试设备龙头,向IC检测设备延伸
精测电子是检测设备领域的龙头企业,成立于2006年4月,总部位于武汉。公司于2016年在深交所IPO 上市。公司主营业务集中于检测设备这一细分领域,是显示屏领域的稀缺标的。公司主营产品包括模组检测系统、面板检测系统、OLED 检测系统、AOI 光学检测系统、Touch Panel检测系统和平板显示自动化设备。
2018年以来不断完善产业布局,打造泛半导体检测设备平台。新增CoverGlass与BL产品的光学测试能力;设立上海精测半导体等,布局半导体测试;设立武汉精能电子,布局新能源测试;收购安徽荣创芯科自动化股权等,进一步丰富面板产品线;子公司苏州精濑与韩国Cowin成立合资公司苏州科韵,开拓精密激光加工业务。
四、长川科技:国内测试设备龙头
公司成立于2008年4月,公司主要为集成电路封装测试企业、晶圆制造企业、芯片设计企业等提供测试设备,目前公司主要产品包括测试机和分选机。
2013年以来公司承担了02专项“通讯与多媒体芯片封装测试设备与材料应用工程”中,“高压大电流测试系统”、“SiP吸放式全自动测试分选机”两项课题的研发工作,前者已通过长电科技和通富微电的验证,后者适用于QFP、QFN、BGA等中高端封装外型芯片的测试分选,已通过长电科技的验证并实现批量销售。
目前,公司生产的IC测试机和分选机产品已获得长电科技、华天科技、通富微电、士兰微、华润微电子、日月光等多个一流IC企业的使用和认可。
公司于2017年4月17日在深交所创业板挂牌上市,成为国内集成电路封测设备行业首家上市公司。
五、晶盛机电:国内单晶炉龙头
公司是国内领先的专业从事晶体生长、加工装备研发制造和蓝宝石材料生产的高新技术企业。
主营产品为全自动单晶生长炉、多晶硅铸锭炉、区熔硅单晶炉、单晶硅滚圆机、单晶硅截断机、全自动硅片抛光机、双面研磨机、单晶硅棒切磨复合加工一体机、多晶硅块研磨一体机、叠片机、蓝宝石晶锭、蓝宝石晶片、LED灯具自动化生产线等。
公司产品主要应用于太阳能光伏、集成电路、LED、工业4.0等领域。
六、中微半导体:国内介质刻蚀机龙头
中微半导体成立于2004年5月31日,股东包括大基金、上海科创投、华登国际、美国高通、中金等。公司产品主要包括介质刻蚀设备、硅通孔刻蚀设备和MOCVD设备,均已成功进入海内外重要客户供应体系。目前,MOCVD设备在国内市场占有率达70%,成为全球MOCVD设备领域的两强之一。
刻蚀机方面,公司在国际投资最多的17家芯片制造公司中,已进入11家,在最先进的代工厂公司中超过250个反应台,已加工6000多万片合格的晶圆。公司自主研制的5nm等离子体介质刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5nm制程生产线。公司介质刻蚀机在主要亚洲晶圆代工市场中占有率达到25%,在主要亚洲存储厂中市场占有率达到15%。
七、上海微电子:国内光刻机龙头
上海微电子(SMEE)是国内光刻机龙头,于2002 年在上海成立;公司承接了光刻机国家重大科技专项,以及02 专项“浸没光刻机关键技术预研项目”(通过国家验收)和“90nm 光刻机样机研制”(通过了02 专项专家组现场测试)任务。
八、盛美半导体:国内湿法设备龙头
盛美半导体(ACM)是国内湿法设备龙头,于1998 年在美国成立,2006年设立盛美上海,开发SAPS兆声波清洗技术;2017年在美国纳斯达克成功上市。公司主要产品为清洗机,截止到2017 年,盛美总共销售了30多台清洗设备,客户包括海力士、长江存储、中芯国际、上海华力、JECT等。